Standort und Equipment

 

Institutsteil

Integrated Silicon Systems ISS

Konrad-Zuse-Str. 1

03046 Cottbus

 

Ihr Ansprechpartner

Dr. Sebastian Meyer

Leitung Institutsteil Integrated Silicon Systems ISS

Telefon +49 351 88 23-137
Fax +49 351 88 23-266

Der Institutsteil Integrated Silicon Systems ISS verfügt über mehre Labore an der BTU Cottbus-Senftenberg, die zur Charakterisierung von Bauelementen und Subsystemen mit modernstem Messequipment ausgerüstet sind. Dazu werden Teile der Laborinfrastruktur in Reinraumumgebung versetzt. Das Messequipment dient der Charakterisierung optischer, elektrischer und mikrofluidischer Eigenschaften von Bauelementen. Dazu stehen ein holografisches Mikroskop, ein Infrarotmikroskop, ein Terahertzsystem sowie vielfältige elektrische Messtechnik bereit. Seit 2019 können mit einem „Zwei-Photonen-Lithographiesystem“ mit bis zu 300nm Voxelgröße Anpassungen in Form eines „Rapid Prototyping“ an Mikrosensoren und Mikroaktoren vorgenommen werden.